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“湿法刻蚀?”徐端仪没明白,沈岳山为什么会选择这个发展方向。

“对,起码就目前来看,应该走这条技术路线。当然长远来看还是要发展EUV光刻,但目前的技术还不成熟,在这上面死磕只是浪费时间。”

“请问原因呢?”

沈岳山讲不出能明说的原因。他得出这样的结论,一是因为EUV是二十年后才有的技术,一定不是现在的研究方向;二是因为干法刻蚀是霓虹国主攻的方向,而霓虹国在后来的光刻机竞争中是日渐没落的。

所以湿法刻蚀成了唯一的可能。

沈岳山思考了一阵,推托道:“原因我不方便说,但是百分之百,湿法刻蚀是最适应当前环境的。”

徐端仪和王大忠两人都觉得神了,这两个一个大学校长,一个专攻这方向的专家,都没敢说要选择哪种技术路线,就是现在问尼康的技术顾问,他们也不敢说哪种路线百分百就是对的。

可沈岳山却有胆量说这话,看起来还很自信。

两人不知是否该相信,顿在原地。

“听我的,”沈岳山已经确定了,“我要入股,然后在现在的技术基础上着手湿法刻蚀的研究。你们要是心里没底,就当是我邀请你们来帮我研发就行了,最后这路子没搞成,也不怪你们,只能怪我的路子选错了。”

徐端仪听罢,有所心动。

他不知沈岳山究竟凭借什么得出这样的判断,但对方散发出来的自信,让他不得不也有所感染。

也许真的就是湿法刻蚀这条路子?

也许拼一拼说不定真的能在这方面取得突破?

那不就是有可能起死回生了?

按照团队的目前状况,也只能死马当活马医了,这最后一点希望虽然渺茫,但好歹还蕴含着可能。

“王校长,”徐端仪扭过头道:“我想接受沈总入股的提议。”

王大忠一听,顿时就喜上眉梢,他巴不得沈岳山入股来救一救火,只是徐端仪这技术男拗着一根筋担心入股了也没用而已。

现在徐端仪答应了,他马上同意,毫不含糊,“这是好事,学校这方面没有意见。我明天让人草拟合同,后天就上会商讨此事!”

“好!”

这事没有耽搁太久,才两天,学校会议一致通过这方案,紧接着上面的批复就下来了。

因为当下大家都认为进口光刻机才是大势所趋,徐端仪的团队已经是半死不活的状态,在意的人并没几个,自然也就随着他本人的意愿了。

“我占50%股份,”沈岳山重复着合同上的关键条件,“累计投资一亿元,暂定分十年支付。”

这于徐端仪而言就是久旱逢甘霖,枯竭多时的实验室终于有机会重新活跃。

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